氣體質(zhì)量流量控制器

簡(jiǎn)要描述：氣體質(zhì)量流量控制器CL-500D流量可覆蓋 2sccm-50slm 非腐蝕性氣體（相對(duì)于 N2） ?性?xún)r(jià)比高 .兼容 RS485 和模擬通訊 ?自動(dòng)復(fù)零功能設(shè)置，增加工藝穩(wěn)定性

產(chǎn)品型號(hào)： CL-500D

所屬分類(lèi)：雷宇測(cè)控質(zhì)量流量控制器

更新時(shí)間：2022-04-11

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

詳情介紹

品牌	其他品牌	產(chǎn)地類(lèi)別	國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,能源

氣體質(zhì)量流量控制器CL-500D

規(guī)格
Full Scale Range (N2 Eqv)	單氣體2-5000sccm \|單氣體5-50slm
Control Valve Type 閥門(mén)類(lèi)型	常開(kāi)式或常閉式螺線管（NC or NO）
Fitting 接頭	1/4"VCR or 1/4"Swagelok 兼容
Seals密封	橡膠Viton
Response Time響應(yīng)時(shí)間	wlSec（超過(guò)滿量程10%）
Accuracy精確性	25%-100%:w ±1%SP (滿量程25% 到 100%) 2%-25%: w ±0.25%F.S (滿量程2% 到 25%)
Linearity線性度	w滿量程的土 0.5%
Repeatability 重復(fù)性	w滿量程的±0.2%
Differential Pressure 壓差	7- 40psi
Leak Integrity 漏率	Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)
Control Range控制范圍	滿量程的2-100%
Max Operating Pressure最高操作壓力	70psi
Proof Pressure 承受壓力	最大值140psi
Communication Type 通訊模式	模擬 0-5V/RS485
Input Power輸入功率	+15VDC ±2% at 100mA -15VDC ±2% at 200mA
Command Signal輸入模擬信號(hào)	模擬信號(hào)0-5 VDC（輸入阻抗＞1M Q） /數(shù)字信號(hào)0-100%
Output Signal輸岀模擬信號(hào)	模擬信號(hào)0-5 VDC（輸入阻抗＞2M Q）/數(shù)字信號(hào)0-100%
Power Consumption功耗	4.5W
Temperature Range 溫度范圍	5-45 Deg C
Materials 材料	316LSS,316SS, PTFE
Weight重量	0.9KG
Surface Finishing 表面處理	5RA